Bomba Primaria, Rotatoria 35 m3/h Acoplamiento de Impedancia Acoplamiento de Impedancia Mass Flow Controler Mass Flow Controler Válvula Válvula Medidor de Bajo Vacio Cámara de Introducción Rápida Acoplamiento de Impedancia Controlador de temperatura para sustrato 1 Medidor de Bajo Vacio Medidor de Alto Vacio Fuente de RF de 300w Fuente de Filamento Válvula de Aguja Válvula Manual Válvula Manual Resistencia calefactora de Sustrato 1 Sustrato Target 1 (Aislante) Target 2 (Aistante) Target 3 (Conductor) Válvula de Aguja Laboratorio de Microelectrónica Filamento de Ignición de Plasma Cámara del Reactor Pantallas o Shutters de los Targets Válvula de Mariposa Bomba Primaria, Rotatoria Válvula Bomba Secundaria, Turbomolecular 380 l/seg Fuente de RF de 300w Fuente de RF de 300w Fuente de DC de 2000w Pulsador de Ignición de Plasma Conmutador de Puesta a Tierra del Sustrato Válvula Bomba Rotatoria 4 m3/h